实现超精加工的主要条件应包括以下诸方面的高新技术：(1) 超精密加工机床与装、夹具；(2) 超精密切削刀具，刀具材料，刀具刃磨技术；(3) 超精密加工工艺；(4) 超精密加工超精密加工机床的主轴在加工过程中直接支持工件或刀具的运动，故主轴的回转精度直接影响到工件的加工精度。因此可以说主轴是超精密加工机床中最重要的一个部件，通过
＋０＋ 超精密导轨技术。早期的超精密机床采用气浮静压导轨技术。气浮静压导轨易于维护，但阻尼小，承载抗振性能差，现已较少采用。闭式液体静压导轨具有高抗振阻尼、高刚度、承载力大的优势。今后一段时期，我国将以高效、超精密加工车床、CNC超精密复合加工机床、超精密平面和外圆磨床为重点，开发超精密加工技术及应用工程，带动一批精密、超精密的基础功能元器件，如
全球70%的精密机床都搭载着由日本Metrol研制的世界最高精度的微米级全自动对刀仪。全球唯一一台突破纳米级加工精度的慢走丝电火花加工机，来自日本sodick(沙迪克),sodick将电火花式超精密加工及检测一体化技术是实现未来智能超精密加工的核心技术，其基本思路在超精密加工设备中集成精密测量仪器，进而实现加工和检测全过程的闭环。而机床几何误差测量是修正在线测量结果和后续误
超精密机床的必有的基本部件包括以下几点一、精密的直线或圆弧的滑动系统，就是俗称的导轨导套二、精密的传动系统，例如精密的丝杠和丝冒三、精密的主动系统，目前超精密机床常用的直线导轨主要有滚动导轨和V-V型导轨、气体静压导轨、液体静压导轨。这其中，又以空气静压导轨为最，其直线度最高可达0.1~0.2um/250mm。进给和微量进给系统在机
超精密加工机床的主轴在加工过程中直接支持工件或刀具的运动，故主轴的回转精度直接影响到工件的加工精度，因此可以说主轴是超精密加工机床中最重要的一个部件，通过机床主轴的精度和特性可以评价主轴部件是保证水刀及超精密机床加工精度的核心。超精密加工对主轴的要求是极高的回转精度和转动平稳以及无振动。满足了这些要求关键是所用的精密轴承。早期的精密主轴采用超精密级
